淺談集成電路測(cè)試機(jī)

1 前言

　　集成電路測(cè)試機(jī)的種類,若依照其測(cè)試功能一般可區(qū)分為L(zhǎng)ogic測(cè)試機(jī)，Memory測(cè)試機(jī)及Mixed-signal測(cè)試機(jī)三大類。其中Logic測(cè)試機(jī)應(yīng)用于一般消費(fèi)性IC，如Voice，MCU IC等測(cè)試使用，Memory測(cè)試機(jī)應(yīng)用于DRAM，F(xiàn)lash，SRAM等IC測(cè)試使用，而Mixed-signed測(cè)試機(jī)，則應(yīng)用于Mixed-Signal IC測(cè)試，如Vedio，SoC IC等測(cè)試使用。

　　雖然不同種類的IC測(cè)試機(jī)使用于不同類型的IC測(cè)試使用，但其最基本的測(cè)試功能及原理實(shí)際上差異性并不大，只是不同類型的測(cè)試機(jī)多了某些特別的測(cè)試功能罷了，其中以Logic測(cè)試機(jī)之測(cè)試功能最為基本，故本文將以Logic測(cè)試機(jī)之功能及使用作為IC測(cè)試機(jī)之介紹。Logic IC測(cè)試機(jī)之功能一般可區(qū)分為：AC測(cè)試部分，DC測(cè)試部分，電源供給部分。

　　（1）AC測(cè)試部分

　　該AC測(cè)試部分最主要的功能是將利用存放在Local Memory的Pattern，經(jīng)由時(shí)序產(chǎn)生模塊(Timing Generator)，波形格式模塊(Waveform Formatter)及信號(hào)準(zhǔn)位驅(qū)動(dòng)模塊（Driver）產(chǎn)生給DUT IC所需要的輸入信號(hào)。同時(shí)DUT IC輸出的信號(hào)也經(jīng)由信號(hào)準(zhǔn)位比較模塊(Comparator) ，時(shí)序產(chǎn)生模塊（Timing Generator）及處理器（Sequencer）和存放在Local Memory的Pattern比較(Comparison)以測(cè)試該IC的輸出信號(hào)是否正常。AC測(cè)試部分其模塊如圖1所示。

　?。?）DC測(cè)試部分

　　DC的測(cè)試是使用參數(shù)量測(cè)模塊（Parameter Measurement Unit, PMU）來量測(cè)DUT IC有關(guān)該IC的漏電源，輸出入工作電流/電壓是否正常，PMU是一組可以提供電流源及電壓源的電源供應(yīng)器，同時(shí)也是一組具有可量測(cè)電流值及電壓值的量測(cè)設(shè)備。PMU具有電流及電壓限制功能，可讓PMU所施予電流及電壓值不會(huì)超過該電流及電壓的限制值，以保護(hù)DUT IC不被施予的電流及電壓燒掉。DC測(cè)試部分其模塊如圖2所示。

　?。?）電源供應(yīng)部分

　　電源供給模塊（Device Power Supply, DPS）來供給DUT IC工作所需要的電源，并量測(cè)該IC的靜態(tài)或動(dòng)態(tài)電流是否正常。DPS是一組可以提供電壓源的電源供應(yīng)器，同時(shí)也是一組具有可量測(cè)電流值的量測(cè)設(shè)備。DPS具有電流限制功能，可讓PMU所施予電流值不會(huì)超過該電流的限制值，以保護(hù)DUT IC不被施予的電流燒掉。電源供給部分其模塊如圖3所示。

　　2 IC測(cè)試機(jī)的使用

　　IC測(cè)試機(jī)的使用包含有：測(cè)試圖樣編輯（Test Pattern），測(cè)試程序（Test Program）編寫，測(cè)試程序除錯(cuò)，IC電氣特性分析以及測(cè)試結(jié)果統(tǒng)計(jì) 等主要項(xiàng)目。

　?。?）測(cè)試圖樣編輯

　　測(cè)試圖樣分為二部分，第一部分為控制指令（u-Intrution）：控制測(cè)試圖樣的測(cè)試動(dòng)作流程，其指令如：Repeat，Match，Jump等，另一部分為：圖樣符號(hào)(Pattern Symbol)如0，1，L，H，Z等。測(cè)試圖樣是用于IC功能AC測(cè)試使用，IC測(cè)試機(jī)的測(cè)試圖樣編輯功能提能供Test Pattern的顯示，修改，貯存等功能。