對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中副產(chǎn)物的重復(fù)利用就是“繼續(xù)改良”的課題之一。在用改良西門(mén)子法生產(chǎn)多晶硅的過(guò)程中，主要副產(chǎn)物為四氯化硅。每生產(chǎn)1千克多晶硅將產(chǎn)生10-15千克四氯化硅。可以說(shuō)，對(duì)副產(chǎn)物四氯化硅的處理是多晶硅產(chǎn)業(yè)的一個(gè)瓶頸問(wèn)題。“在改革開(kāi)放之初，我國(guó)曾經(jīng)有數(shù)十個(gè)多晶硅項(xiàng)目，但后來(lái)紛紛下馬，一個(gè)重要原因是四氯化硅的問(wèn)題沒(méi)有得到解決。”沈祖祥說(shuō)。

　　    據(jù)四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司總經(jīng)理陳紹章介紹，國(guó)際上，四氯化硅副產(chǎn)物的綜合利用主要有兩個(gè)方向，一個(gè)發(fā)展方向是用四氯化硅作原材料生產(chǎn)其他化工產(chǎn)品，包括白炭黑、硅酸乙酯、光纖預(yù)制棒和有機(jī)硅等；另一個(gè)發(fā)展方向就是在多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中把四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅，對(duì)四氯化硅進(jìn)行循環(huán)利用。

　　    對(duì)于前一個(gè)發(fā)展方向，由于中國(guó)的多晶硅產(chǎn)業(yè)還處于起步階段，還沒(méi)有形成副產(chǎn)物加工處理的產(chǎn)業(yè)鏈條，同時(shí)，在生產(chǎn)其他化工產(chǎn)品的過(guò)程中不可避免地還會(huì)產(chǎn)生新的副產(chǎn)物，如鹽酸，因此，這種處理方式還面臨很多難題。“近幾年來(lái)，中國(guó)多晶硅產(chǎn)業(yè)呈幾何級(jí)數(shù)發(fā)展，預(yù)計(jì)今年的產(chǎn)量將超過(guò)4萬(wàn)噸，因此，將產(chǎn)生40萬(wàn)噸～60萬(wàn)噸四氯化硅副產(chǎn)物。采用生產(chǎn)其他化工產(chǎn)品的方法無(wú)論如何都無(wú)法容納如此巨量的四氯化硅。”陳紹章說(shuō)。

　　    目前，我國(guó)對(duì)四氯化硅進(jìn)行循環(huán)利用的氫化技術(shù)已經(jīng)成熟。對(duì)四氯化硅進(jìn)行循環(huán)利用也存在兩條技術(shù)路線。一條路線是冷氫化技術(shù)，就是在高壓和低溫(550℃)的條件下用硅粉、氫氣和氯化氫與四氯化硅進(jìn)行反應(yīng)；另一條路線是熱氫化技術(shù)，就是在1200℃的溫度下用氫氣與四氯化硅進(jìn)行反應(yīng)。

　　    陳紹章對(duì)熱氫化和冷氫化兩種工藝進(jìn)行了比較，他說(shuō)；“在實(shí)際生產(chǎn)中，四氯化硅熱氫化的一次轉(zhuǎn)換率達(dá)到20%，循環(huán)過(guò)程中每產(chǎn)生1千克三氯氫硅耗電量約為3.5千瓦時(shí)，氫化過(guò)程中產(chǎn)生的三氯氫硅和氯化氫都將全部直接回收到系統(tǒng)之中，不需要對(duì)三氯氫硅再次進(jìn)行精餾。通過(guò)四氯化硅的熱氫化，每千克多晶硅的生產(chǎn)成本將降低40元。冷氫化工藝的操作壓力很高，并且在氫化過(guò)程中要加入硅粉。由于硅粉的硬度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于鋼材，因此對(duì)設(shè)備的磨損也會(huì)很大。此外，加入硅粉會(huì)對(duì)氫化以后的三氯氫硅的質(zhì)量產(chǎn)生影響，還需要對(duì)其進(jìn)行精餾處理。相比之下，熱氫化工藝的反應(yīng)完全是氣相的過(guò)程，生成的三氯氫硅純度很高，并且便于計(jì)算機(jī)進(jìn)行流程控制，其唯一的缺點(diǎn)是能耗會(huì)高于冷氫化工藝。”